设备概述
主要机构包括等离子体电源、等离子体发生器、加料系统、球化室、粉末收集系统、气体控制系统、真空系统、冷却水系统、电气控制系统等组成。
1. 射频等离⼦体电源功率:30KW、60KW、100KW、200KW ...... 可选;
4. 球化率:≥ 98% 。
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